Einführung in die Mikrosystemtechnik (MEMS)

Vokabel-Flashcards zur Einführung in die Mikrosystemtechnik, basierend auf den physikalischen Grundlagen, der Entwicklung und den Anwendungsgebieten von MEMS.

MEMS

Micro-Electro-Mechanical Systems; miniaturisierte Geräte, Baugruppen oder Bauteile, deren Komponenten Abmessungen im Mikrometerbereich besitzen.

Physikalische Prinzipien von MEMS-Sensoren

Trägheit der Masse, Federkraft, Kapazitätsänderung und elektrische Auswertung.

Optimierungsparameter bei der MEMS-Entwicklung

Masse, Federsteifigkeit, Dimensionen, Spannung, Material, Kapazitätsmessung und Rauschen.

Analytisches Modell

Modell in der ersten Entwicklungsphase von MEMS, das mit Abschätzungen und Näherungen arbeitet.

Numerisches Modell / FEM

Modell für die Entwicklung bei komplexen Randbedingungen; wird bei planarer Geometrie oft als $2\text{D}$-Modell betrachtet.

Kapazität ($C$)

Eine elektrische Größe, die sich durch die Auslenkung bei MEMS-Sensoren ändert und anschließend elektrisch ausgewertet wird.

Inertialsensoren

Ein Anwendungsgebiet der Mikrosystemtechnik, welches Beschleunigungs- und Drehsensoren umfasst.

Optoelektronik / MOEMS

Anwendungsbereich für Kamerachips, Mikrospiegel und Projektoren.

Mikrofluidik

Technikbereich, der unter anderem Inkjet-Druckköpfe und Lab-on-a-Chip-Systeme umfasst.

MEMS-Mikrofone

Mikrosysteme, bei denen der Schalldruck über eine Membran und die Änderung der Kapazität gemessen wird.

SAW-Filter / Oszillatoren

Bauteile, die akustische Oberflächenwellen als Filter oder Referenzsignal nutzen.

Mikroelektronik

Bereich der MST, der integrierte Schaltungen, Sensoren, Verstärker und ADCs umfasst.