XPS
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1
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XPSは何の略か
X線光電子分光法(X-ray Photoelectron Spectroscopy)
2
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XPSで分析する際、X線を試料に当てて何を測定しますか？
放出された光電子の運動エネルギー
3
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XPSで得られる主な情報は何か
試料表面の元素の種類、組成、化学結合状態
4
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XPSで検出できない元素
水素とヘリウム
5
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XPSが分析できる試料の深さ
数nm程度
6
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XPSの別名
ESCA (Electron Spectroscopy for Chemical Analysis)